172nm准分子紫外线灯主要指标
| 用途 | 洗净、表面改性 |
| 波长 | 172nm |
| 照度 | 170mW/c㎡ |
| 照射幅 | 70mm |
| 点灯 | 瞬时开/关 |
| 分布 | ±10% |
照射尺寸
| 工作尺寸 | ~G2 | ~G3 | ~G5 | ~G6 | ~G8.5 | ~G11 |
| 有效照射长度（mm） | 400 | 600 | 1200 | 1600 | 2400 | 3200 |
| 灯（个） | 1 | 2（千烏配置） | ||||
按搬送速度累计光量
照射前后的XPS数据
172nm准分子紫外线灯
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